OCI Vacuum Microengineering

LEED and Auger Spectroscopy UHV Systems Since 1990

OCI Vacuum Microengineering Inc. è un produttore di strumenti di analisi per superfici di film sottili, la cui tecnologia è basata sulla spettroscopia elettronica Auger (AES), sulla low energy electron diffraction (LEED), sulla spettrometria di massa, sulle sorgenti di ioni ed elettroni. La principale applicazione dell'energy electron diffraction (LEED) e della spettroscopia elettronica Auger (AES) è misurare la cristallografia di superficie bidimensionale e la composizione di elementi ultrasottili.