Sorgenti di plasma
La tecnologia a microonde trova sempre nuovi campi applicativi. La generazione del plasma è uno di questi. I vantaggi derivanti dall'utilizzo delle microondes ono numerosi:
- densità del plasma
- ioni e specie attive
- funzionamento senza elettrodo,
- ntervallo di pressione
Potenziale illimitato
Il grande potenziale dei plasmi generati tramite microonde ha applicazioni anche in campi hi-tech quali l'elettronica, la gioielleria, l'ingegneria medica e l'industria automobilistica, l'industria ottica e delle celle solari.
Per soddisfare le specifiche sempre più rigorose richieste da tecnologie così sofisticate, SAIREM ha sviluppato una propria gamma di sorgenti e reattori al plasma. Queste fonti sono utilizzate, ad esempio, nella generazione di diamanti, ALD, attivazione superficiale DLC, sterilizzazione, sintesi di nanomateriali, abbattimento di gas, ...
Generatori di qualità elevatissima
L'architettura dei generatori a microonde SAIREM di ultima generazione è al 100% digitale. Sono stati sviluppati appositamente per supportare cicli di funzionamento di settimane, e per fornire uno spettro stabile e ristretto; sono inoltre in grado di adattarsi perfettamente alle applicazioni industriali o di ricerca e sviluppo richieste dal cliente.
Sorgenti di plasma innovative
Le sorgenti di plasma a microonde sono note per le loro prestazioni in termini di creazione di elevate densità di specie reattive, ma sono state spesso considerate una seconda scelta data la difficoltà di implementazione nei processi industriali. Tali sorgenti spesso richiedono un sistema di adattamento dell'impedenza difficile da automatizzare.
Per superare questi vincoli, SAIREM ha sviluppato due innovative sorgenti al plasma auto-accoppianti che funzionano con generatori a stato solido da 2,45 GHz: Aura-Wave e Hi-Wave.