InSEM Microprobe

L'InSEM è uno strumento per caratterizzare le proprietà meccaniche di superfici o strutture, progettato per funzionare con risoluzione sub-nanometrica in un ambiente in vuoto in situ, come un SEM o un FIB

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L'ambiente SEM/FIB è stato definito “il laboratorio del futuro”. Ogni test effettuabile in un ambiente di micro-laboratorio ha vantaggi unici,  e alcune applicazioni sono semplicemente impossibili senza le capacità di individuazione o visualizzazione del SEM.

APPLICAZIONI:

  • Pilastri in nanoscala
  • MEMS
  • Micro-targeting
  • Pile-up & sink-in
  • Tensile specimens
  • Indentazione
  • Particle crush
  • Micromanipolazione

L'InSEM è progettato per integrare perfettamente alta risoluzione di testing meccanico nel "laboratorio del futuro".

 
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Flessibilità

L'InSEM è progettato per essere modulare e flessibile, per rendere disponibile un'ampio range di applicazioni. La disponibilità di porte nelle camere SEM/FIB  è spesso un problema. Nanomechanics ha disegnato l'InSEM in modo che possa essere montato su una gran varietà di porte, o per essere montato direttamente sullo stage SEM. Considerato che differenti applicazioni richiedono differenti configurazioni del sistema, l'InSEM può essere facilmente spostato da una porta all'altra, o assemblato in configurazione on-stage.

Come lavora l'InSEM

L'InSEM consiste di:

  • un attuatore (il dispositivo forza/spostamento)
  • un controller
  • un software di facile utilizzo
  • un microposizionatore

Il microposizionatore può essere in queste tre configurazioni:

  • Chamber mounted linear feed-thru
  • Chamber mounted with multiaxis micropositioners
  • On-stage with micropositioners