LiteScope™

Microscopio a scansione di sonda progettato per facile integrazione in microscopi elettronici

La combinazione delle tecniche  SPM e SEM grazie al Litescope permette di godere dei vantaggi di entrambe le tecniche di microscopia.

LiteScope™ fornisce un ampio range di modalità di imaging di Microscopia a Scansione di Sonda (SPM), che può essere facilmente utilizzata tramite sonde intercambiabili.

Analisi completa del campione, che include:

  • caratterizzazione della topografia di superficie
  • proprietà meccaniche
  • proprietà elettriche
  • proprietà magnetiche

Il LiteScope™ può essere combinato anche con altri accessori SEM:

  • Fascio ionico focalizzato (FIB)
  • Sistema di Iniezione di Gas (GIS)

per la produzione di nano/microstrutture e modifiche di superficie. In questa combinazione, il LiteScope™ permette una facile e veloce ispezione 3D di nano/microstrutture.

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Nenovision Litescope Presentation

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PDF icon Brochure Litescope665.68 KB
PDF icon Microscopia CPEM - Application Note2.1 MB
Principali vantaggi
  • Tecnologia unica di correlazione tra miscoscopia elettronica e microscopia a scansione di sonda (Correlative Probe and Electron Microscopy technology - CPEM)
  • Tecnica innovativa a livello mondiale per la microscopia correlativa
  • Caratterizzazione di superficie completa – Topografia, Rugosità, Proprietà Magnetiche, Conduttività, Proprietà Elettriche
  • Navigazione precisa della punta sul campione
  • integrazione e montaggio semplici / rimozione in meno di cinque minuti
  • Plug and play
  • Compatibile con FIB, GIS, EDX e altri accessori
Altri benefici
  • Sonde Self-sensing senza rilevamento ottico, regolazione laser non necessaria
  • Sonde disponibili in commercio, ampia gamma di modalità di misura
  • Sonde realizzate su misura possono essere utilizzate con un probe holder appropriato, progettato secondo i requisiti richiesti dal cliente
  • La testa di misura può essere ritratta nel corpo del LiteScope™ per liberare spazio attorno al campione
  • Operatività SPM in posizione inclinata (inclinazione 0° – 60°), min. WD = 5 mm
  • Software user-friendly con installazione speciale
  • Accesso remoto ai risultati e setup della misura
Microscopia correlativa elettronica e a scansione di sonda - CPEM

La microscopia correlativa è un approccio tecnico che beneficia dell'imaging degli stessi oggetti tramite due tecniche diverse.

La microscopia correlativa elettronica e a scansione di sonda (CPEM) è stata sviluppata per applicazioni che usino la Correlative Imaging (in attesa di brevetto).
La CPEM riesce a sincronizzare:

  • l'area di scansione
  • la risoluzione e la distorsione dell'immagine
  • rende possibile la correlazione in tempo reale di immagini acquisite tramite la SPM e la SEM
Nenovision introduce la tecnologia CPEM

Tecnologia SEM- Scansione del campione tramite elettroni per analisi 2D.

Tecnologia SPM - Scansione del campione tramite una sonda fisica.

Tecnologia CPEM - Combina entrambe le tecniche e fornisce un esclusivo imaging correlativo.

Tecnologia CPEM

CPEM rende possibile la caratterizzazione simultanea della superficie di un'area tramite SEM e SPM, allo stesso tempo e nelle stesse condizioni..

La scansione simultanea con offset costante e risoluzione identica assicura che l'analisi sia eseguita sulla stessa superficie e possa essere utilizzata per imaging online tramite il software NenoView.

Modalità di imaging

Il LiteScope™ fornisce e supporta un ampio spettro di metodi e sonde per misurazione tramite SPM.

La pietra miliare e più importante caratteristica tecnica di questo strumento e il probe holder universale, che permette di installare in modalità “Plug & Play” diverse tipologie di sonde.

Integrazione SEM

Il LiteScope™ è progettato per l'integrazione in microscopi SEM di diversi produttori, pronto in modalità “Plug & Play”. Nenovision fornisce adattatori e passanti che possono essere personalizzati a seconda delle richieste dei clienti.

Il LiteScope™ si collega con facilità al portacampioni di un microscopio elettronico con quattro viti; i cavi elettrici sono collegati tramite un passante a vuoto preparato precedentemente.

Caratteristiche Tecniche

LiteScope™: i dati

Il LiteScope™ viene solitamente utilizzato in alto vuoto, ma può essere utilizzato in condizioni di Ultra Alto Vuoto (UHV) su richiesta.

  • Peso totale: 1 kg
  • Range di lavoro in vuoto: da 105 Pa fino a o 10-5 Pa
  • Range di scansione X, Y, Z: 100×100×100 μm o 38x38x38 μm
  • Risoluzione: fino a 0.4 nm o 0.07 nm
  • Dimensione massima del campione: 10 mm × 10 mm
  • Altezza massima del campione: 8 mm

Nenovision offre su richiesta una versione completamente non magnetica e a circuito chiuso.

Design

iL LiteScope™ viene posizionato sullo stage di un microscopio SEM/FIB e può misurare anche in posizione inclinata, per esempio nel caso di un uso contemporaneo con la tecnica FIB.

  • Profilo basso e piccole dimensioni permettono una facile integrazione con strumenti SEM/FIB
  • Semplice procedura di integrazione – montaggio nel micromanipolatore SEM/FIB
  • Opzione "Docking" quanto l'intera sonda SPM è nascosta nel corpo del LiteScopeTM
  • Probe holder universale adatto a diversi metodi SPM e facilmente assemblabile in modalità “Plug & Play”
  • Inclinazione del campione fino a 60°
  • Disegno meccanico ottimizzato per quanto riguarda il basso livello di vibrazioni (rigidità e frequenza di risonanza appropriata), preamplificatore integrato (per eliminare la distorsione del segnale / rumore quanto più possibile)

Centralina

Tutte le elettroniche di controllo del LiteScope™ sono integrate in un'unica centralina. Questa unità è un rack standard a 19” e può essere montato facilmente sullo slot libero delle elettroniche SEM o semplicemente posizionato laddove sia di più semplice e comodo utilizzo per l'applicazione di lavoro.

  • Massima frequenza PLL per misurazioni dinamiche di 75 kHz, ideale per sonde basate su tuning fork (è possibile ottenere una frequenza più alta con PLL esterni o secondo le richieste del cliente)
  • 2× 16-bit DAC per asse di scansione (range di scansione, offset) per ottenere la massima risoluzione in qualsiasi punto all'interno del campo visivo
  • 6× 16 bit input ausiliari per misura simultanea dei segnali utente (±10 V)
  • I canali di input possono essere convogliati un un mixer feedback-loop
  • Segnale della sonda / monitor
  • Segnale esterno per l'eccitazione della punta
  • Disponibiilità di tutte le connessioni necessarie per l'utilizzo di un Lock-in / PLL esterno
  • Connessione ethernet al PC di controllo
  • 110 VAC o 230 VAC, 200 W
  • Il preamplificatore è posto all'interno del corpo del LiteScope™, assicurando in tal modo una significativa riduzione del rumore elettrico

Software NenoView

NenoView è un software user-friendly che permette di controllare il settaggio delle misure, l'acquisizione e l'elaborazione dei dati. NenoView supporta la tecnologia CPEM e le permette di utilizzare direttamente e internamente l'imaging correlativo.

  • Salvataggio dei dati con tutte le informazioni, incluse le impostazioni di misura
  • Interfaccia utente Web 
  • Di facile utilizzo per i nuovi utenti, adattabile per l'utenza esperta
  • Account utenti configurabili individualmente
  • Accesso remoto ai dati utente
  • Scaricamento dei dati dal PC di controllo a un computer locale
  • Controllo remoto dell'esperimento tramite dispositivi mobili (tablet, smartphone, ecc..)
  • Elaborazione dati integrata: analisi, esportazione, ecc.
Methods and relevant probes supported by LiteScope™
Sonde AkiyamaSonde Tuning forkPRS/A*Filamento Pt/Ir
STM (Microscopia a Scansione a effetto Tunnel)NYNY
AFM - Modalità a contattoNNYN
AFM - Modalità a contatto intermittenteYYYN
AFM - Modalità conduttivaNYNN
MFM (Microscopia a Forza Magnetica)NYNN
KPFM (Kelvin Probe Force Microscopy)NYNN
EFM (Microscopia a Forza Elettrica)NYNN
FMM (Microscopia di modulazione della forza)NNYN
Misurazione del voltaggio localeNYNY
Misurazione della corrente localeNYNY