Modello IG35 IONEC

Cannone a ioni per sputtering

Il modello IONEC è un cannone a sputtering di ioni dall'alta performance, che conta su una notevole semplicità nel suo design e una convenienza senza precedenti.

Lo IONEC, è uno strumento progettato per la pulizia della superficie dei campioni e per l'analisi in profondità nell'AES (Auger Electron Spectroscopy). Il cannone produce un fascio ionizzato di gas inerte uniforme, con un fascio di diametro da 5 fino a 10mm. Lo IONEC IG35 unisce una sorgente di ioni potenziata con una configurazione a lente elettrostatica, per accelerare e focalizzare il fascio di ioni. Lo strumento è montato su una flangia mini CF Conflat. Il cannone ha una entrata per il gas nella sezione di ionizzazione, e una porta per pompare in maniera differenziata la sezione della lente. in questa maniera viene massimizzato il differenziale di pressionetra la camera principale e la sorgente di ioni. 

CARATTERISTICHE:

  • sorgente di ioni potenziata per aumentare l'intensità del fascio
  • montaggio su flangia mini CF 
  • entrata diretta del gas nella sorgente di ionizzazione
  • porta per il pompaggio differenziale
  • montaggio diretto del filamento sul collegamento alla mini flangia CF
  • energia del fascio variabile da 0 a 3keV, misuratore digitale a pannello, controllo remoto del fascio di energia e programmazione via computer

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