Camera di vuoto compatibile con il Lyncée Tec DHM R

Un set per il vuoto è stato sviluppato per la linea DHM R per permettere misurazioni DHM su campioni in vuoto e in ambienti a contatto con gas. La struttura V400 consiste dei seguenti componenti:

• Camera di vuoto 400x400x400mm con pompa, misuratore di pressione e accessori
• Colonna customizzata per la testa del DHM
• Oblò compatibile con obiettivi fino a 40x
• Stage motorizzato 100x100x38 mm con controller e with controller and passanti di connessione

La misurazione in condizioni di ambiente controllato è una caratteristica unica del DHM. Apre la strada a nuove ricerche e applicazioni per la profilometria in 3D, soddisfacendo necessità e desiderata dell'utilizzatore:

• Caratterizzazione di MEMS in vuoto: il vuoto è richiesto per determinare i parametri di risonanza dei MEMS, per esempio per strumenti inerziali come accelerometri e giroscopi
• Caratterizzazione di sensori di pressione: una pressione controllata è necessaria per determinare la relazione tra il dislocamento della membrana e la pressione applicata

Oltre alla camera di vuoto, questo sistema può essere combinato con:

• Cella di Peltier (refrigerante termoelettrico) per controllare il riscaldamento e il raffreddamento del campione  (da -100°C fino a +200°C)
• MIcromanipolatori equipaggiati con micro-specchi a 45° per misurare i bordi dei campioni, e per la stimolazione elettrica.

Questo strumento ha un prezzo molto competitivo, se raffrontato a altri sistemi similari, che non hanno nemmeno l'opzione della camera da vuoto. Il DHM MEMS Analyzer è sicuramente una soluzione molto competitiva, come spiegato nella comparazione presente nella pagina dell'Holographic MEMS Analyzer.

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