IG70 IONEC

Cannone a Ioni per Sputtering

Il modello IONEC è un cannone a sputtering di ioni dall'alta performance, che conta su una notevole semplicità nel suo design e una convenienza senza precedenti.

Lo IONEC, è uno strumento progettato per la pulizia della superficie dei campioni e per l'analisi in profondità nell'AES (Auger Electron Spectroscopy). Il cannone produce un fascio ionizzato di gas inerte uniforme, con un fascio di diametro da 5 fino a 20mm. Lo IONEC IG70 unisce una sorgente di ioni potenziata con una configurazione a lente elettrostatica, per accelerare e focalizzare il fascio di ioni. Lo strumento è montato su una flangia mini CF Conflat 23/4". Il cannone ha una entrata per il gas nella sezione di ionizzazione, e una porta per pompare in maniera differenziata la sezione della lente. in questa maniera viene massimizzato il differenziale di pressionetra la camera principale e la sorgente di ioni. 

CARATTERISTICHE:

  • sorgente di ioni potenziata per aumentare l'intensità del fascio
  • montaggio su flangia mini CF 23/4" 
  • entrata diretta del gas nella sorgente di ionizzazione
  • porta per il pompaggio differenziale
  • montaggio diretto del filamento sul collegamento alla mini flangia CF

Caratteristiche Tecniche

  • Sorgente di Ioni: Ionizzazione per impatto elettronico in campo magnetico
  • Catodo di ionizzazione: Filamento di Tungsteno - Renio montato direttamente su flangia CF 2 3/4"
  • Grandezza Fascio: Regolato con tensione di focalizazione a 5 - 20 mm
  • Corrente del fascio: 16.5 µA a 3 keV di energia e 5x10 -6 Torr di Ar +
  • Energia del fascio: Variabile da 0 a 3000 eV
  • Montaggio: 2.75" (70mm) O.D. flangia CF
  • Bakeability (resistenza al calore): Fino a 220°C
  • Dimensioni complessive: 30mm diametro della lente, 130mm distanza tra la flangia di montaggio e il passaggio del filamento (180mm incluso il filamento), 100mm di larghezza e 70mm di profondità

Richiesta informazioni/quotazione

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