Serie DVIA-P

Sistemi pneumatici di isolamento attivo dalle vibrazioni

Progettato per la metrologia dei semiconduttori.

La serie DVIA-P è costituita dai sistemi avanzati di isolamento attivo-pneumatico dalle vibrazioni. Questi sistemi utilizzano servovalvole pneumatiche per controllare le vibrazioni a bassa frequenza e stabilizzare le apparecchiature di metrologia dei semiconduttori con stage lineari motorizzati di altissima precisione. La serie DVIA-P incorpora sensori estremamente sensibili e potenti servoattuatori pneumatici, che generano una forza enorme per contrastare le vibrazioni in entrata dai pavimenti degli edifici, e in un tempo velocissimo forniscono le migliori condizioni per l'imaging sulla nanoscala, senza alcun disturbo.

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Prestazioni superiori di isolamento dalle vibrazioni

Gli algoritmi avanzati di controllo delle vibrazioni in feedback e feedforward sono incorporati nella serie DVIA-P, offrendo il 40 - 70% di smorzamento delle vibrazioni a 2 Hz, nei sei gradi di libertà.

Progettato per apparecchiature di misure metrologiche su semiconduttori

Basato su input analogico e dati di accelerazione in tempo reale, il sistema di controllo in feedforward dello stage della serie DVIA-P compensa efficacemente le vibrazioni residue causate dagli stage lineari motorizzati. Quando gli stage lineari viaggiano con grandi valori di accelerazione e massa, si verifica uno spostamento considerevole, il controllo di retroazione dell'accelerazione della serie DVIA-P riduce al minimo lo spostamento, riducendo il tempo di assestamento e migliorando la precisione della posizione del sistema. Inoltre, se le uscite analogiche che forniscono informazioni sull'accelerazione di spostamento della posizione dello stage, misurate in tempo reale, sono collegate al controller, è possibile utilizzare il sistema feed-forward dello stage. Il sistema SFF genera una forza proporzionale al momento rotazionale del tavolino e alla forza di vibrazione del tavolino, che può ridurre drasticamente lo spostamento di posizione del tavolino lineare.

DVIA-P Attivo vs Passivo
Precisione della posizione di 10 μm

I sensori di posizione misurano continuamente la posizione del sistema di isolamento e quindi mantengono la sua posizione grazie a un processore di segnale digitale. Di conseguenza, la precisione della posizione del sistema è notevolmente migliorata. Inoltre, gli accelerometri rilevano istantaneamente le vibrazioni provenienti dal pavimento o dai piani mobili, quindi trasmettono i segnali digitali per azionare gli attuatori pneumatici e annullare le vibrazioni.

Potenti attuatori pneumatici per supportare applicazioni con stage mobile

La serie DVIA-P è per sua natura più rigida di un sistema passivo di isolamento dalle vibrazioni, a causa dell'enorme forza generata dagli attuatori pneumatici. Gli attuatori pneumatici generano la quantità significativa di forza per supportare l'apparecchiatura metrologica a semiconduttore/display con stage lineari motorizzati integrati.

Algoritmo di controllo di pre-azione e retro-azione
  • Fase di feed-forward
    Se il sistema di isolamento dispone in anticipo delle informazioni sugli stage lineari motorizzati, il sistema può produrre una forza di dimensioni uguali alla forza dei movimenti dinamici degli stage lineari, nella direzione opposta. Di conseguenza, la forza esterna causata dal tavolino lineare motorizzato viene efficacemente minimizzata.
  • B Feedback di accelerazione
    Questo sistema di controllo del feedback impiega sensori e attuatori per rilevare continuamente le vibrazioni che disturbano il carico utile isolato, reagendo per ridurre al minimo le vibrazioni. Il sistema di feedback dell'accelerazione non solo riduce le vibrazioni dal pavimento, ma minimizza anche efficacemente le vibrazioni provenienti dalle fasi lineari motorizzate
  • .C Feedback di posizione
    Quando la base isolata è disturbata dalle vibrazioni, il feedback di posizione misura lo spostamento tramite sensori di posizione che trasmettono i segnali al controller digitale. Dopo aver ricevuto i segnali dai sensori, il controller digitale guida gli attuatori per riportare la posizione originale, migliorando la precisione della posizione.
  • D Feed-forward del pavimento
    Il sistema feed-forward del pavimento filtra le vibrazioni del pavimento in modo predefinito. Il sistema di controllo feed-forward viene utilizzato quando sono presenti fattori noti: a titolo di esempio una forza applicata alla base isolata, i dati delle vibrazioni ambientali e le informazioni sulle apparecchiature che devono essere isolate. A differenza del sistema di controllo del feedback, il sistema feed-forward analizza le caratteristiche dinamiche dell'apparecchiatura e regola i guadagni feed-forward con il metodo trial & error per azionare gli attuatori.
Sistema di controllo smart

Un controller digitale della serie DVIA-P impiega un convertitore A/D a 19 canali a 16 bit e un convertitore D/A a 10 canali D/A 24 bit per ottenere un campionamento sincrono delle vibrazioni. Il controller digitale controlla il sistema calcolando costantemente tutte le fonti di vibrazione, e trasmettendo i segnali per azionare gli attuatori pneumatici.

Controllo delle vibrazioni in tutti i sei gradi di libertà

I sensori e gli attuatori, integrati  nella serie DVIA-P controllano le vibrazioni nei tre gradi di movimento traslazionale (X,Y and Z), e nei tre gradi di movimento rotatorio: roll (rollio), pitch (beccheggio) e yaw (imbardata).

Ottimizzazione in loco per massimizzare le prestazioni

I livelli di vibrazione del pavimento variano in base al luogo di installazione, all'ambiente circostante, agli eventi irregolari e alle varie fonti di vibrazioni. Per compensare nella maniera migliore queste fonti di vibrazioni, Daeil offre la messa a punto in loco del sistema di isolamento attivo dalle vibrazioni, eseguita dal suo personale, o da personale autorizzato, per garantire le massime prestazioni di isolamento dalle vibrazioni e la soddisfazione dei clienti.

Prestazioni

40-70% di isolamento dalle vibrazioni a 2 Hz.
Isolamento dalle vibrazioni ≥90% a ≥4 Hz.

Applicazioni

CD-SEM
Photomask Repair
Photomask Qualification
Automated AFM
Maks Aligner
X-Ray Metrology
X-Ray Defect Inspection
E-Beam Lithography System
Non-Contact 3D Sufrace Metrology
Thin Flim Thickness Metrology

Caratteristiche Tecniche

Modello N°

DVIA-P1000

DVIA-P2200

DVIA-P4000

DVIA-P7000

DVIA-P10000

DVIA-P20000

DVIA-P30000

Dimensioni dell'isolatore (L x W x H)

240 x 240 x 110 mm

350 x 350 x 110 mm

420 x 420 x 110 mm

450 x 450 x 110 mm

450 x 450 x 120 mm

645 x 600 x 284 mm

735 x 700 x 284 mm

Capacità di carico

500 - 1700 kg

1100 - 3700 kg

2100 - 7000 kg

3600 - 12000 kg

5000 - 17000 kg

11000 - 38000 kg

150000 - 50000 kg

Attuatore

Attuatore pneumatico con servo-valvola

Attuatore pneumatico con servo-valvola

Attuatore pneumatico con servo-valvola

Attuatore pneumatico con servo-valvola

Attuatore pneumatico con servo-valvola

Attuatore pneumatico con servo-valvola

Attuatore pneumatico con servo-valvola

Forza massima attuatore

Verticale: 25000 N

Verticale: 36260 N

Verticale: 68600 N

Verticale: 117600 N

Verticale: 167580 N

Verticale: 372400 N

Verticale: 490000 N

Orizzontale: 300 N

Orizzontale: 588 N

Orizzontale: 2646 N

Orizzontale: 4410 N

Orizzontale: 8330 N

Orizzontale: 11760 N

Orizzontale: 11760 N

Gradi di libertà

6 gradi

6 gradi

6 gradi

6 gradi

6 gradi

6 gradi

6 gradi

Range di isolamento attivo

0.5 - 150 Hz

0.5 - 150 Hz

0.5 - 150 Hz

0.5 - 150 Hz

0.5 - 150 Hz

0.5 - 150 Hz

0.5 - 150 Hz

Isolamento dalle vibrazioni a 2 Hz

70%

70%

70%

70%

70%

70%

70%

Isolamento dalle vibrazioni a ≥ 4 Hz.

≥ 90%

≥ 90%

≥ 90%

≥ 90%

≥ 90%

≥ 90%

≥ 90%

Tensione di ingresso (V)

CA monofase 100 - 240 V

CA monofase 100 - 240 V

CA monofase 100 - 240 V

CA monofase 100 - 240 V

CA monofase 100 - 240 V

CA monofase 100 - 240 V

CA monofase 100 - 240 V

Consumo Energetico (W)

100 W

100 W

100 W

100 W

100 W

100 W

100 W

Intervallo operativo di temperatura (°C)

5 - 50 °C

5 - 50 °C

5 - 50 °C

5 - 50 °C

5 - 50 °C

5 - 50 °C

5 - 50 °C

Intervallo operativo di umidità (%)

20 - 90%

20 - 90%

20 - 90%

20 - 90%

20 - 90%

20 - 90%

20 - 90%

Pressione necessaria

≥ 90% 0.5 MPa (≥ 5 bar)

≥ 0.5 MPa (≥ 5 bar)

≥ 0.5 MPa (≥ 5 bar)

≥ 0.5 MPa (≥ 5 bar)

≥ 0.5 MPa (≥ 5 bar)

≥ 0.5 MPa (≥ 5 bar)

≥ 0.5 MPa (≥ 5 bar)

CDA richiesto

250 NL/min

250 NL/min

250 NL/min

250 NL/min

250 NL/min

250 NL/min

250 NL/min