Sonda dedicata per SIMS/SNMS

La serie EQS della Hiden di sonde a quadrupolo per spettrometria di massa è stata introdotta per la misurazione di ioni esterni superficiali in un ambiente in vuoto, in maniera specifica per l'applicazione di tecnica di analisi delle superfici, la SIMS. I sistemi ora possono contare sulla disponibilità di una nuova sorgente di ioni a bombardamento di elettroni ad alta efficienza, montata in corrispondenza dell'entrata della sonda, per la spettrometria di massa a sputtering di neutri (SNMS).

Queste duplici tecniche sono vantaggiose per differenti analisi di superfice, inclusa la misurazione di rivestimenti ottici e metallurgici, leghe, strati di corrosione, rivestimenti architettonici. SIMS e SNMS possono essere utilizzati insieme durante una sequenza di misurazione continua per fornire una profilazione dei dati in profondità, attraverso il range di concentrazione più ampio.

Le sonde combinano insieme filtri di massa ed energia per una ottimale efficenza di trasmissione del fascio, con opzioni di range di massa selezionabili fino a 2500amu. Le sonde sono disponibili con pistole a ioni per gas e metalli, per effettuare l'upgrade alle funzionalità SIMS/SNMS di sistemi di analisi delle superfici già esistenti, e in alternativa come complete e autonome stazioni di lavoro SIMS/SNMS.