Sonda Langmuir-style con Caratterizzazione per Plasma Pulsato

La sonda ESPion Langmuir-style di Hiden Analytical viene ritenuta la sonda elettrostatica più versatile attualmente disponibile in commercio. La sonda crea automaticamente un report sulle caratteristiche critiche del plasma: densità degli elettroni e distribuzione dell'energia, temperatura degli elettroni, densità degli ioni, potenziale del plasma e potenziale floating, fornendo un feedback rapido e accurato, essenziale per processi di analisi e controllo del plasma.
Il plasma pulsato può offrire benefici per la modellazione di crescita e dei proprietà. il software in dotazione permette all'ESPion di fornire analisi temporali altamente segmentate attraverso un plasma a pulsazioni, a frequenze di pulsazione che possono arrivare fino a 3MHz. Altre caratteristiche includono un sistema di raffreddamento ad aria della punta della sonda, un ciclo di auto-pulitura programmabile per decontaminazione della punta, un'alta impedenza RF per mantenere l'integrità dei dati, e un elettrodo di compensazione della sonda di riferimento per la cancellazione di fluttazioni dovute a bassa frequenza di deriva del plasma.

Le sonde possono lavorare in modalità statica e dinamica, con motori lineari completamente programmabili compatibili UHV che permettono spostamenti nel range di 900mm. I sistemi sono  supportati da oltre 20 anni di continua esperienza di produzione nel campo della misurazione con plasma, con l'aiuto esterno di un network di ingegneri e scienziati, forniti di una conoscenza ad alto livello di diagnostica e processo con plasma.