S Neox 3D

Profilometro ottico 3D - Progettato per velocizzare controlli di qualità (QA/QC) e per soluzioni di ricerca e sviluppo

Il nuovo S Neox supera i profilometri ottici 3D attualmente sul mercato in termini di performance, funzionalità, efficienza e design, rendendolo un sistema di misura della superficie ai vertici della sua categoria.

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Caratteristiche
Controllo qualità
Controllo qualità

Più veloce che mai

Tutto è più veloce di prima grazie a un algoritmo nuovo, intelligente e unico, e a una nuova camera di acquisizione. L'acquisizione dei dati avviene a 180 fps. L'acquisizione standard della misura è 5 volte più veloce di prima. Ciò rende l'S neox il sistema di misura di superfici più veloce sul mercato.

Facile da usare

Sensofar lavora continuamente per fornire la migliore esperienza d'uso per i nostri clienti. Con la quinta generazione dei sistemi S neox, l'obiettivo era di rendere lo strumento facile da utilizzare, intuitivo e più veloce. Anche un utente alle prime armi può gestire il sistema con un singolo click. Sono stati creati dei moduli software per adattare il sistema alle esigenze dell'utente

Sistema versatile

Controllo qualità

Sono stati creati dei moduli automatizzati per facilitare tutte le procedure di controllo qualità. Questi moduli vanno dal controllo dei privilegi di accesso degli operatori alle ricette, alla compatibilità con lettori di codici a barre e QR, fino a plugin personalizzati generati dal software proprietario SensoPRO per produrre rapporti "pass/fail". Le soluzioni ottimizzate di Sensofar sono in grado di lavorare in ambienti di controllo qualità grazie alla flessibilità e alla facilità d'uso dell'interfaccia, che può essere programmata per lavorare 24/7.

Ricerca e Sviluppo

Con l'approcio di Sensofar 3-in-1, basta un solo click nell'ambiente SensoSCAN per far passare il sistema alla migliore tecnica per la misura da effettuare. Le tre tecniche di misurazione, incluse nella testa dell'S neox (Confocale, Interferometrica, Variazione di fuoco Ai) contribuiscono in maniera fondamentale alla versatilità del sistema e aiutano a minimizzare compromessi nell'acquisizione dei dati. L'S neox è ideale per qualsiasi laboratorio, senza limitazioni.

3 tecnologie in uno strumento
Ai Focus VariationNEW!
Ai Focus VariationNEW!

Ai Focus VariationNEW!

L'Active illumination Focus Variation effettua la scansione verticale o delle ottiche (con una profondità di campo davvero bassa) o del campione per ottenere un set di immagini in continuo della superficie. Un algoritmo determina quali punti di ciascun frame sono a fuoco, e l'intera immagine viene costruita utilizzando tutti i punti a fuoco di tutti i frame. Questa tecnologia è stata potenziata con l'uso dell'illuminazione attiva per ottenere una localizzazione della messa a fuoco più attendibile, anche in una superficie otticamente liscia.

Confocale

La scansione confocale è una tecnica di imaging microscopica che utilizza un'apertura sul piano confocale dell'obiettivo. La luce fuori fuoco non entra nel sistema di imaging e solamente il piano a fuoco del campione viene catturato. Profili 2D e immagini di superfici 3D possono essere catturati effettuando una scansione dell'apertura in modalità meccanica o digitale.

Interferometria

L'Interferometria ottica fa uso della differenza del cammino ottico tra le luci riflesse nelle due braccia dell'interferometro (riferimento e campione) per raccogliere uno schema di interferenza spaziale (interferogramma) che contiene informazioni sulla topologia della superficie del campione. Sono possibili diverse varianti di approccio per particolari applicazioni. 

Film sottili
Riflessività
Riflessività

La tecnica di misura dei film sottili misura lo spessore di strati otticamente trasparenti in maniera veloce, accurata, non-distruttiva, e non richiede preparazione del campione. Il sistema acquisisce lo spettro di riflettanza del campione nel range visibile; lo spettro acquisito viene comparato con uno spettro simulato calcolato dal software, con una costante modifica dello spessore, finché non viene trovato il valore più adatto. Possono essere misurati film trasparenti da 50 nm fino a 1.5 μm in meno di un secondo. Punti di valutazione del campione dipendono dal valore di ingrandimento dell'obiettivo, che può andare da 0.5 μm fino a 40 μm.

Alta risoluzione
Alta risoluzione
Alta risoluzione

La risoluzione verticale è limitata dal rumore dello strumento, che è fisso per l'Interferometria, mentre dipende dall'apertura numerica per il Confocale. L'algoritmo proprietario di Sensofar limita il rumore del sistema a livello nanometrico per qualsiasi tecnica di misurazione, alla risoluzione laterale più alta possibile per uno strumento ottico.
La topografia in foto è uno strato atomico subnanometrico (0.3 nm).

Osservazione DIC
Osservazione Differential Interference Contrast (DIC)
Osservazione Differential Interference Contrast (DIC)

La tecnologia Differential Interference Contrast (DIC) viene utilizzate per enfatizzare piccolissimi gradini che non avrebbero alcun contrasto in osservazioni normali. Grazie a un prisma Nomarski, viene creata un'immagine interferenziale che permette di vedere strutture in scala subnanometrica che non sarebbero altrimenti visibili in immagini a campo chiaro o confocali.

Struttura S neox
Struttura di appoggio
Struttura di appoggio

L'S neox è uno strumento completo. Il suo design è ideale per ottenere una valutazione veloce e non invasiva di micro e nano-geometrie di superfici tecniche in configurazioni multiple. S neox fornisce la flessibilità, la durata e l'efficienza richieste da diverse tipologie di clienti, dal setup standard di laboratori che si occupano di ispezioni di Ricerca e Sviluppo per arrivare a soluzioni sofisticate e personalizzate per controllo di processi online, misura di campioni fino a 300×300 mm2 e con altezza massima fino a 350 mm.

Portaobiettivo motorizzato
Portaobiettivo motorizzato
Portaobiettivo motorizzato

Il portaobiettivo motorizzato può caricare fino a sei obiettivi contemporaneamente, inclusi gli obiettivi per campo chiaro e interferometria. Il software SensoSCAN gestisce automaticamente il cambio di obiettivo e corregge ogni modifica della parafocalità che si dovesse rendere necessaria.

Anello di luce
Anello di luce a LED
Anello di luce a LED

L'anello di luce si basa su un anello LED per illuminare il campione in modo uniforme ed efficiente. È montato sopra e attorno all'obbiettivo, e fornisce un segnale aumentato per la tecnica Ai Focus Variation. Ciò assicura una illuminazione appropriata sul piano focale.

Stage rotazionale
Stage rotazionale a cinque assi
Stage rotazionale a cinque assi

Lo stage rotazionale a cinque assi consiste di un asse A rotante ad alta precisione motorizzato con 360° di rotazione continua, 1 arc sec di precisione di posizionamento, un asse B motorizzato, da -30º a 110º, 1 arc min di precisione di posizionamento con fine corsa. È equipaggiato con un sistema di serraggio System3R.

Sistema guidato
S Neox 3D Sensofar - SensoSCAN Software
S Neox 3D Sensofar - SensoSCAN Software

Il software SensoSCAN guida il sistema grazie a un'interfaccia user-friendly intuitiva e chiara. L'utente viene guidato attraverso l'ambiente 3D, con un'esperienza utente unica. 

Navigazione del campione

Uno strumento di panoramica aiuta l'utente a ispezionare il campione durante la preparazione della misura, a controllare le posizioni di misura prima dell'acquisizione, e lo aiuta nella procedura automatizzata. È semplice lavorare con un alto valore di ingrandimento, poiché sarà possibile sapere in tempo reale in che punto del campione ci si trova.

Funzione Auto 3D

Selezionando la funzione 3D Auto, il software SensoSCAN automaticamente sceglie l'illuminazione adatta e il range di misura appropriato, e quindi esegue il tipo di misura prescelto. Un risultato di alta qualità può quindi essere ottenuto in pochi secondi.

Analisi e Report

È possibile anche creare dei template di analisi per applicare filtri predeterminati e configurazioni dell'operatore per misure ripetute. E infine, ottenere un report chiaro e ben strutturato per ciascuna misura, con dati 3D, un profilo 2D e i parametri ISO.

Modulo per procedure automatiche

È possibile effettuare misure automatizzate grazie allo strumento "Recipes", uno strumento facilmente personalizzabile per creare procedure di controllo qualità. È ideale per ispezioni di Controllo Qualità, ed è estremamente semplice definire delle procedure per misure automatiche con lo strumento di gestione del profilo, esportazione dati, e criteri ‘pass or fail’.

Modulo per misure estese

Il modulo per misure estese della suite SensoSCAN permette all'utente di definire con facilità la struttura della superficie grazie all'immagine panoramica. L'area può essere ritagliata automaticamente in aree di interesse rettangolari, circolari o ad anello. È possibile creare aree di ampiezza fino a 500 milioni di pixel. Sono disponibili diverse procedure di scansione, come la messa a fuoco automatica su ciascun campo, o il focus tracking per ridurre al minimo il range di scansione verticale.

Potentissimo software di analisi avanzata
Strumento di analisi interattiva
Strumento di analisi interattiva

SensoVIEW è un software ideale per un'ampia gamma di lavori di analisi.

Strumenti di analisi interattiva

La visione interattiva 3D e 2D fornisce opzioni per multipli scaling, display e render. Viene fornita una suite comprensiva di strumenti per l'esame preliminare e l'analisi di misure 3D o 2D. Dimensioni critiche, angoli, distanze, diametri possono essere misurate e le caratteristiche messe in evidenza con nuovi strumenti di annotazione.

Operatori sequenziali

Un set comprensivo di operatori fornisce l'opportunità di ritoccare punti di dati, modulo di rimozione (piano, sfera, polinomiale), applicare una gamma di filtri e/o generare layes alternativi ritagliando, sottraendo o estraendo un profilo. È anche possibile creare template di analisi per applicare filtri pre-determinati e configurazioni di operatore per misure ripetitive.

La suite di analisi più completa sul mercato
Pacchetto SensoPRO opzionale
Pacchetto SensoPRO opzionale

SensoPRO - Pacchetto software avanzato disponibile come opzione.

Non è mai stato più facile effettuare un veloce controllo qualità su una linea di produzione. Grazie a SensoPRO l'operatore in linea di produzione deve solamente caricare il campione e seguire le istruzioni guidate. Algoritmi plug-in di analisi dei dati forniscono un alto grado di flessibilità. Nuovi moduli possono essere creati e personalizzati con facilità per altre necessità produttive.

Software avanzato di reportistica
SensoMAP
SensoMAP

SensoMAP pacchetto software avanzato disponibile come opzione.

SensoMAP, basato sulla tecnologia Mountains di Digital Surf, è uno strumento estremamente potente per analisi e reportistica. È del tutto adattabile in maniera modulare alle necessità del cliente. Sono disponibili due livelli (standard e premium) e diversi moduli (moduli 2D, 3D o 4D, Advanced Contour, Grains & Particles, Statistics and Stitching).

Moduli Sensomap
Advanced 2D surface texture Studi, parametri e filtri per analisi avanzata di profili 2D
Advanced 3D surface texture Studi, parametri e filtri per analisi avanzata di superfici 3D
Contour Veloce dimensionamento geometrico dei profili del componente
Advanced contour Modulo comprensivo di analisi di deviazioni con tolleranze
Grains and particles Studio delle caratteristiche di superfici isolate
Colocalization Combina dati di superfici ottenuti da strumenti di imaging e metrologia di diverse tipologie
4D series Visualizza e analizza l'evoluzione della superficie
Statistics Analisi statistica automatica di popolazioni di dati da misure statiche e dinamiche
3D Fourier Usa strumenti avanzati FFT-based per analizzare le interazioni processo-superficie ed eliminare il rumore dalla superficie
2D automotive Verifica la performance funzionale con parametri sviluppati dall'industria automotive 

Caratteristiche Tecniche

Sorgenti Luminose
RossoVerdeBluBianco
630nm530nm460nm575nm
Obiettivi - Campo chiaro
Obiettivi - Campo chiaro
Obiettivi - Confocale / Variazione di fuoco AI

1 Campo visivo massimo con camera 3/2” e ottiche 0.5X.   2 Dimensione del pixel sulla superficie.   3 L&S: Linea e spazio. Valori relativi al LED blu.   4 Rumore del sistema misurato come differenza tra due misure consecutive su uno specchio di calibrazione perpendicolare all'asse ottico.   5 Su superfici piane, fino a 71º. Su superfici riflettenti, fino a 86º.

Obiettivi - Interferometria
Obiettivi - Interferometria
Obiettivi - PSI / ePSI / CSI

1 Campo visivo massimo con camera 3/2” e ottiche 0.5X.   2 Dimensione del pixel sulla superficie.   3 L&S: Linea e spazio. Valori relativi al LED blu.   4 Rumore del sistema misurato come differenza tra due misure consecutive su uno specchio di calibrazione perpendicolare all'asse ottico. Per il PSI, 10 phase averages con l'isolamento da vibrazioni attivato. La misura di 0.01 nm è ottenuta con il Piezo stage scanner e in ambiente a temperatura controllata. Valori relativi al LED verde (LED bianco per CSI). Risoluzione HD.   5  Su superfici piane, fino a 71º. Su superfici riflettenti, fino a 86º.

Performance XYZ
Performance XY
Performance Z
Accuratezza e ripetibilità
Accuratezza e ripetibilità

Obiettivi utilizzati per il Confocale e l'Ai Focus Variation: 50X 0.80 NA. Per il CSI e il PSI: 50X 0.55NA.
Risoluzione 1220×1024 pixel. Tutte le misure sono state effettuate utilizzando PZT.
L'Incertezza (U/Uncertainty) secondo la guida ISO/IEC 98-3:2008€ GUM:1995, K=1,96 (livello di confidenza 95%). σ secondo 25 misure.
7 Area di 1x1mm.   8 Profilo di 4mm di lunghezza.

Configurazione del sistema
Configurazione del sistema