SHS: Step Height Standards

Gli standard di Step Height di AppNano sono progettati esclusivamente per la calibrazione sugli assi X,Y, e Z di microscopi a scansione di sonda e di profilometri. Questi standard sono definiti in silice ottenuta per ossidazione termica su un substrato di silicio. Uno strato di Cr è depositato per rendere ancor più dura la superficie. Gli standard Appnano sono disponibili in due altezze: 1μm e 100 nm.

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