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Il microscopio elettronico a scansione µTS è indurito per il vuoto e implementa un encoder ad anello per accorciare l'attuatore. Nonostante l'ampia profondità di campo del SEM, il basso movimento fuori piano è importante per la DIC al fine di ridurre le misurazioni errate di deformazione. La variante tipo C è leggera e particolarmente adatta per EBSD.
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