Sensore Lens-Less

Campo visivo DHM® fisso, design unico brevettato, robusto, ideale per applicazioni industriali

Il Sensor Lens-less sensor è un DHM® con campo visivo fisso: questo design unico e brevettato è robusto e ideale per applicazioni industriali. La configurazione in riflessione misura la topografia 3D con una risoluzione sub-nanometrica.

L'olografia digitale offre vantaggi significativi se paragonata agli altri profilometri 3D:

  • Misurazioni veloci
  • Insensibile alle vibrazioni circostanti
  • Messa a fuoco digitale: non richiede spostamento meccanico
  • La lunghezza d'onda del laser è l'altezza di riferimento: nessun inconveniente da meccanismi di scansione
Controllo di un wafer tramite l'utilizzo di microscopia olografica digitale
Ideale per l'automazione
  • Design compatto per una semplice integrazione
  • Camera posizionata all'esterno del corpo macchina, che agevola la manutenzione
  • Sorgente laser esterna per manutenzione e integrazione in tempi ridotti e con estrema facilità

Caratteristiche Tecniche

  • Campo visivo: 6mm x 6mm
  • Risoluzione laterale: 10 um
  • Risoluzione verticale: 0.5 nm
  • Distanza minim: 10 mm
  • Angolo di accettazione: 0.8°
  • Sensore CMOS: 4 Mpx