smartWLI extended

Regolabile, molto accurato, per superfici lisce e ruvide
Produttore: 
GBS-Ilmenau GmbH
Categoria: 
Profilometri Ottici 3D Non-contatto da banco

Sistema stand-alone 3D per misurazione di superifici, basato su interferometria a luce bianca. Il sistema include una torretta per gli obiettivi e uno stage motorizzato XY. Il sistema è in grado anche di esaminare un'ampia area (stitching).

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30/05/2019
Profilometria ottica 3D allo stato dell'arte - Le novità presentate da GBS Ilmenau al Control Show 2019 a Stoccarda

Applicazioni

Scienza delle Superfici
Misura 3D della Rugosità Superficiale
Materiali Semiconduttori
Caratterizzazione dei Rivestimenti Superficiali

Caratteristiche Tecniche

SISTEMA DI MISURAZIONE
Tipologia di misurazione Interferometria a luce bianca
Sistema di posizionamento sull'asse Z Piezo-based
Range di altezza della misurazione [µm] Fino a 400
Array di misura [Pixel] 1936x1216
Sorgente di luce [nm] LED 542
Risoluzione verticale [nm] PSI: 0.1, VSI: 1.0
Massima velocità di scansione [µm/s] 10.6
Dimensione della testa di scansione [mm³] 235 x 80 x 128 (AxLxP)
Peso della testa di scansione [kg] 2
Computer, Sistema Operativo Desktop o portatile con Windows 7
Tempo di misurazione sul range z 20 μm [s] Inferiore a 3
Temperatura operativa [°C] 10-35
Temperatura operativa raccomandata [°C] 18-22

 

OBIETTIVI
Ingrandimento (MAG) 2.5x 5x 10x 20x 50x 100x
Apertura numerica (NA) 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
Distanza di lavoro (WD) [mm] 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
Angolo di campo (FOV) [μm] 7203 x 4524 3601 x 2262 1800 x 1131 900 x 565 360 x 226 180 x 113
Grandezza del pixel [μm] 3.72 1.86 0.93 0.47 0.19 0.09
Risoluzione ottica - Dawes [μm] 3.61 2.08 0.90 0.68 0.49 0.39

 

SOFTWARE
smartWLI Windows 7, 64bit Software per la misurazione della topografia e per l'esportazione di dati 3D utilizzando una interfaccia diretta con il software di analisi MountainsMap®
smartWLI-DLL SDK per la misurazione della topografia utilizzando il proprio software, Matlab o LabVIEW
MountainsMap®
www.digitalsurf.com		 Software di analisi dettagliata e di visualizzazione 3D, misurazione dei dati prima e dopo il processo, DIN EN ISO determinazione della rugosità e dell'altezza,  processo sequenziale, log delle misurazioni
Formati di file ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIFF
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