Modello IG35 IONEC

Cannone a ioni per sputtering
Produttore: 
OCI Vacuum Microengineering
Categoria: 
Cannoni ionici/elettronici per sputtering

Il modello IONEC è un cannone a sputtering di ioni dall'alta performance, che conta su una notevole semplicità nel suo design e una convenienza senza precedenti.

Lo IONEC, è uno strumento progettato per la pulizia della superficie dei campioni e per l'analisi in profondità nell'AES (Auger Electron Spectroscopy). Il cannone produce un fascio ionizzato di gas inerte uniforme, con un fascio di diametro da 5 fino a 10mm. Lo IONEC IG35 unisce una sorgente di ioni potenziata con una configurazione a lente elettrostatica, per accelerare e focalizzare il fascio di ioni. Lo strumento è montato su una flangia mini CF Conflat. Il cannone ha una entrata per il gas nella sezione di ionizzazione, e una porta per pompare in maniera differenziata la sezione della lente. in questa maniera viene massimizzato il differenziale di pressionetra la camera principale e la sorgente di ioni. 

CARATTERISTICHE:

  • sorgente di ioni potenziata per aumentare l'intensità del fascio
  • montaggio su flangia mini CF 
  • entrata diretta del gas nella sorgente di ionizzazione
  • porta per il pompaggio differenziale
  • montaggio diretto del filamento sul collegamento alla mini flangia CF
  • energia del fascio variabile da 0 a 3keV, misuratore digitale a pannello, controllo remoto del fascio di energia e programmazione via computer
Richiedi informazioni

File

AllegatoDimensione
Icona del PDF _ion_sputter_gun_IG35-DP_brochure.pdf3.12 MB
Icona del PDF IG35-configuration-and-specifications.pdf230.98 KB

Caratteristiche Tecniche

  • Sorgente di Ioni: Ionizzazione per impatto elettronico in campo magnetico
  • Catodo di ionizzazione: Filamento di Tungsteno - Renio montato direttamente su flangia mini CF
  • Grandezza Fascio: Regolato con tensione di focalizazione a 5 - 10 mm
  • Corrente del fascio: 16.5 µA a 3 keV di energia e 2.5x10-5 Torr di Ar+
  • Energia del fascio: Variabile da 0 a 3000 eV
  • Montaggio: 1.33" (35mm) O.D. flangia CF
  • Bakeability (resistenza al calore): Fino a 220°C
  • Dimensioni complessive: 12.7mm diametro della lente, 153mm distanza tra la flangia di montaggio e il passaggio del filamento (220mm incluso il filamento), 100mm di larghezza e 40mm di profondità

Alimentatori (Modelli IPS2 and IPS3)

  • Potenze:
    • Corrente del filamento: 1.5 - 4A
    • Tensione di rete: +185V
    • Voltaggio del fascio: 0 - 3kV
    • Tensione di focalizzazione: x0.3 - 0.8 del voltaggio del fascio
  • Monitoraggio: Energia del fascio, Corrente del filamento e Corrente di Emissione con pannello digitale (a 3 1/2 cifre)
  • Controlli: potenziometro a 10 giri per l'energia del fascio e la corrente del filamento, interruttore a 12 posizioni per la focalizzazione
  • Controllo remoto (opzionale): mini-box per il controllo remoto del voltaggio del fascio
  • Controllo del computer: da 0 a 9V (Modello IPS2); da 0 a 5.4V (Modello IPS3)
  • Protezione: Corto Cirtuito e protezione da arco elettrico, autoallineante
  • Input: 115 VAC, 60Hz - standard
  • Voltaggi internazionali: 100/120/220/230/240 VAC, 47 - 440Hz
  • Dimensione: Montaggio su rack a 19"
Richiedi informazioni