Serie TGX

La griglia di calibrazione TGX è un insieme di buchi quadrati con bordi rientranti formati da 110 livelli di piani cristallografici di silicio. Il raggio tipico dei bordi è di 5 nm.

Le griglie di calibrazione TGX servono a determinare l'aspect ratio della punta e servono per la calibrazione laterale degli scanner SPM. Le griglie possono essere inoltre usate per il riscontro di non-linearità laterale, isteresi, creep, ed effetti di accoppiamento.

Caratteristiche Tecniche

Codice ........................................................ TGX
Area Attiva  ........................................................1 x 1 mm
Dimensioni del chip ........................................................5 x 5 x 0.3 mm
Raggio dei bordi ........................................................< 5 nm
Passo ........................................................3 μm
Accuratezza del passo ........................................................0.1 μm
Step height* ........................................................1 μm

Le dimensioni contrassegnate dal * sono indicate come riferimento.

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