Smart-WLI Next

La nuova generazione di profilometri ad alte prestazioni di GBS

Lo Smart WLI Next di GBS Ilmenau Gmbh è un sensore 3D che può essere utilizzato per misurare nanostrutture e microgeometrie.
Ha una torretta motorizzata che può portare fino a quattro obiettivi. Ciò significa che il sensore compatto, che funziona con il principio dell'interferometria a luce bianca, può essere utilizzato in macchine di misura che richiedono un cambio dell'obiettivo, durante il processo di misura, senza intervento manuale. Anche il software di scansione è stato migliorato in modo che la velocità di misurazione massima di tutti i sensori di questa serie, così come la risoluzione in xyz, fosse più veloce dei modelli precedenti. Mentre le strutture superficiali più piccole possono essere valutate anche su superfici superlucide come uno specchio di cristallo, è inoltre possibile misurare aree estese molto più velocemente di prima, e con maggiore risoluzione.
A tale scopo, la superficie viene analizzata in una prima fase con una velocità di scansione di oltre 1 mm/s, e il campo di misura necessario per la misurazione ad alta risoluzione è limitato. Anche con un'elevata tolleranza di posizione e con superfici inclinate con una differenza di altezza di diversi 100μ, è possibile eseguire misurazioni individuali da 1 a 2s; e in pochi minuti è possibile misurare e riprendere aree più grandi, con diverse misurazioni singole a 100μ.