IPS3-D

Controller digitale per Sputter Gun a ioni
Produttore: 
OCI Vacuum Microengineering
Categoria: 
Dispositivi di controllo per spettrometri e cannoni ionici

FEATURES:

  • Programmazione del controllo della deposizione
  • Controllo tramite pannello frontale oppure tramite computer via USB
  • Precisione digitale nel settaggio e nella stabilità
  • Controllo rotativo dell'encoder ottico sul pannello frontale
  • Integrazione con LabView (TM) o TestPoint (TM)
  • Protezione automatica contro sovraccarico, corto circuito e arco

SOFTWARE DI CONTROLLO DA PC

Per visionare le schermate del software di temporizzazione per l'automazione di controllo del processo di deposizione, potete scaricare la brochure che trovate nella sezione File/Immagini.

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Uscite analogiche
  • Voltaggio fascio: positivo, 0-3200V
  • Corrente del filamento: 0-4A
  • Voltaggio sistema di focus: positivo, 0-3200V; fattore 0.3 - 0.85 del voltaggio del fascio
  • Tensione di rete: 150V con riferimento al filamento
  • Corrente di emissione: 0-99mA range
  • Monitoring: Tutti i voltaggi sopra riportati
  • Display: display fluorescente a vuoto per controllo della corrente del filamento, del fascio di energia, della corrente di emissione e dei programmi di funzione
  • Controllo Manuale: controllo manuale di tutti i voltaggi e della corrente del filamento attraverso un  encoder ottico rotativo e pulsanti di selezione. È disponibile anche una programmazione manuale
  • Sistema di automazione preinstalllato: dieci programmi operativi modificabili tra i quali outgassing, standby, filament forming, constant emission current, programmi di diagnostica
  • Controllo via PC: controllo completo di tutte le funzioni, per il quale è richiesto un apposito software, lista di comandi per una facile programmazione (LabView), DLL. ActiveX disponibile
  • Protezione: protezione da corto circuito, sovratensione e sovracorrente
  • Alimentazione: 100/110V AC 50/60Hz o 220V/240V AC 50Hz
  • Mechanical: involucro da 19" su rack con 3U (5.25", 133mm) in altezza
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