Application Note: riparazione di fotomaschere con le punte AFM di Adama Innovations in singolo cristallo di diamante, sharp e ultra resistenti

Nuova application note per la riparazione di fotomaschere. Un'ottima opportunità per constatare come le punte di Adama Innovations, realizzate con singolo cristallo di diamante, possono essere utili per questa specifica applicazione.

• Riparazione di difetti - Riparazione di due punti sul bordo della fotomaschera mediante lavorazione del bordo con una sonda in diamante robusta e sharp. Immagini acquisite con un Asylum Research Cypher-S AFM utilizzando una sonda Photo Mask di Adama Innovations.
• Pulizia - Pulizia della fotomaschera utilizzando una sonda diamantata robusta e sharp. Una quantità significativa di detriti viene è stata rimossa dalla superficie senza danneggiare la fotomaschera. Immagini acquisite con un Asylum Research Cypher-S AFM, utilizzando una sonda Photo Mask di Adama Innovations
• Mask writing: writing di nuove geometrie sulla fotomaschera utilizzando una sonda diamantata robusta e sharp. Le geometrie aggiunte alla fotomaschera in questo caso specifico sono quattro. Immagini acquisite con un Asylum Research Cypher-S AFM utilizzando una sonda Photo Mask di Adama Innovations.